半导体微电子技术与纳米技术

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摘要 0502881导电类型和杂质浓度控制多晶硅的基于栅极工作函数差分的 CMOS 电压参考=CMOS Voltage ReferenceBased on Gate Work Function Differences in Poly Si Con-trolled by Conducitivity Type and Impurity Concentration[刊,英]/H.Watanabe,S.Ando//IEEE Journal of Soild-State Circuits.—2003,38(6).—987-994(E)0502882碳纳米管在微机电系统(MEMS)中的应用研究[刊,中]/叶雄英//微细加工技术.—2004,(1).—9-17(D)

出处《电子科技文摘》 2005年第2期14-19,共6页 Sci.& Tech.Abstract

关键词纳米技术微细加工技术微机电系统导电类型杂质浓度叶雄固体电子学质子辐照应用研究电荷泵

分类号 TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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