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热处理与表面处理工艺

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摘要 02107793C-SiC晶体薄膜的退火特性及其光荧光〔刊〕/雷天民//西安理工大学学报.-2001,17(4).-335～337(K) 0210780烷/炔气低温沉积Tic黑膜的研究〔刊〕/张海军//真空.-2001,(6).-17～19(D)

出处《电子科技文摘》 2002年第6期47-47,共1页 Sci.& Tech.Abstract

关键词表面处理工艺低温沉积西安理工大学化学沉积黑膜可控气氛热处理欧姆接触波长范围有色玻璃高温合金

分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学]

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电子科技文摘

2002年第6期

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