光电三维集成技术

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摘要本文介绍了国外近几年来在光电三维集成技术方面的进展.对三线集成工艺技术进行了简要介绍.对于光电三维集成器件的设计考虑也做了简要叙述.

作者白淑华

出处《半导体技术》 CAS 1987年第3期24-26,44,共4页 Semiconductor Technology

关键词硅衬底三维集成技术三维集成电路光电器件光电元件电子管集成器件复合功能单晶硅器件层光电转换光伏转换有源器件电子器件

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半导体技术

1987年第3期

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