X-FAB发布业界首个3D MEMS平台

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摘要 X-FAB,这家已经出货超过十亿MEMS器件的晶圆厂,近日又再次发表业界首个为微机电系统(MEMS)三轴惯性传感器(3Dinertialsensor)提供的开放性平台,一个可以直接从代工厂量产的工艺。那些需要进入新的3D惯性传感器的无晶圆设计公司可以直接在这个工艺上进行设计开发或使用X-FAB的合作设计公司的方案,而且可以直接上量,无需再进行长时间和巨资的工艺开发。X-

作者江兴

出处《半导体信息》 2012年第5期32-33,共2页 Semiconductor Information

关键词惯性传感器微机电系统 MEMS X-FAB 工艺开发晶圆厂代工厂三轴加速度六自由度压力传感器

分类号 TP211.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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