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Physik Instrumente发布V-551电动线性平移台

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摘要 Physik Instrumente发布配有集成绝对测量、2nm分辨率编码器的V-551电动线性平移台。由无铁芯磁线性电机提供的500mm/s的高速和快速加速,带来高精度和平滑的运动。具有防蠕动笼的精密交叉滚子轴承协助保证优秀的导向精度(每100mm 1μm直线/平整度)。
出处 《伺服控制》 2015年第6期9-9,共1页 Servo Control
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