摘要
本文对影响硅微陀螺仪的正交误差的主要因素进行了全面分析,并论述了如何减小由加工带来的正交误差。
出处
《电子技术与软件工程》
2015年第7期143-144,共2页
ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING
基金
浙江省教育厅项目Y201328493
参考文献5
-
1陈怀,张嵘,周斌,陈志勇.微机械陀螺仪温度特性及补偿算法研究[J].传感器技术,2004,23(10):24-26. 被引量:38
-
2刘危,解旭辉,李圣怡.微机械惯性传感器的技术现状及展望[J].光学精密工程,2003,11(5):425-431. 被引量:35
-
3李大威,郭圣权.微硅陀螺静态漂移自回归模型辨识研究[J].计测技术,2005,25(6):23-24. 被引量:2
-
4赵阳,裘安萍,施芹,赵健.微机械陀螺检测接口建模及前置放大器优化[J].光学精密工程,2013,21(7):1734-1740. 被引量:7
-
5杨波,苏岩,施芹,周百令.硅微机械陀螺仪的机电接口模型分析[J].中国惯性技术学报,2005,13(5):49-53. 被引量:4
二级参考文献46
-
1刘梅,周百令.硅微陀螺机械热噪声研究[J].仪器仪表学报,2006,27(z2):1163-1164. 被引量:2
-
2[1]Hong K S.Compensation of nonlinear thermal bias drift of rsonant rate sensor using fuzzy logic[J]. Semsors and Actuators,1999,78:143-148. 被引量:1
-
3[2]Shcheglov K,Evans C,Gutierrez R.et al.Temperature dependent characteristics of the JPL silicon MEMS gyroscope[A].2000 IEEE Aerospace Conference Procee-dings[C].Piscataway NJ USA:IEEE,2000.403-411. 被引量:1
-
4ROCKSTAD H K, TANG T K, REYNOLDS. A miniature, high-sensitivity, electron tunneling accelerometer[J].Sensors and Actuators, 1996,53:227-231. 被引量:1
-
5BURNS D W, HORNING R D, HERB W R, et al. Sealed-cavity resonant mierobeam accelerometer[J]. Sensors and Actuators, 1996, A53: 249-255. 被引量:1
-
6SPINEANU A, BENABES P, KIELBASA R. A piezoelectric accelerometer with sigma-delta servo technique[J].Sensors and Actuators, 1997,A60,127-133. 被引量:1
-
7LEMKIN M A, BOSER B. A three-axis micromachined accelerometer with a CMOS position-sense interface and digital offset-trim electronics[J]. IEEE J Solid-State Circuits, 1999,34(4) ,456-468. 被引量:1
-
8XUESONG J, SEEGER J I, KRAFT M, et al . A monolithic surface micromachined Z-axis gyroscope with digital output[A]. To be Published at the Symposium on VLSI Circuits [C]. Hawaii, USA, 2000. 被引量:1
-
9KRAFT M. Micromachined inertial sensors state of the art and a look into the future[EB/OL]. http://www. sensor. com/. 被引量:1
-
10ROYLANCE L M, ANGELL J B. A batch-fabricated silicon accelerometer[J].IEEE Trans Electron Devices,1979 ,ED-26 : 1911-1917. 被引量:1
共引文献80
-
1顾广清,夏敦柱,李宏生,王寿荣.硅微陀螺仪数字化温度补偿系统的实现[J].舰船电子工程,2008,28(12):49-52. 被引量:6
-
2伦凤艳,张平,高福斌,贾宏光.微光机械振动传感器的设计与制作[J].微细加工技术,2006(1):61-64.
-
3凤瑞,裘安萍,施芹,苏岩.双质量硅微机械陀螺固有频率温度特性研究[J].南京理工大学学报,2013,37(1):94-100. 被引量:7
-
4张文博,范大鹏,张智永,李凯.光电稳定跟踪装置中微机电陀螺应用研究[J].光学精密工程,2006,14(4):689-696. 被引量:12
-
5杨波,周百令.真空封装的硅微陀螺仪[J].东南大学学报(自然科学版),2006,36(5):736-740.
-
6王波,梁迎春,孙雅洲,谭亚明.带三维结构的惯性MEMS器件的微细铣削加工[J].传感技术学报,2006,19(05A):1473-1476. 被引量:1
-
7唐大全,刘锦涛,张博.微型捷联姿态系统的硬件设计[J].自动化仪表,2007,28(1):15-18. 被引量:5
-
8车录锋,卢云,徐志农.铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟[J].光学精密工程,2007,15(2):199-205. 被引量:13
-
9张延顺,周战馨,房建成.微机电陀螺随机误差的非平稳模型及滤波方法[J].数据采集与处理,2006,21(B12):185-188. 被引量:2
-
10刘俊,秦岚,刘京诚,李敏.一种新型差动式压电加速度传感器[J].光学精密工程,2007,15(6):903-909. 被引量:19
同被引文献9
-
1施芹,裘安萍,苏岩,朱欣华.硅微陀螺仪的机械耦合误差分析[J].光学精密工程,2008,16(5):894-898. 被引量:23
-
2刘学,陈志华,肖定邦,吴学忠,苏剑彬,侯占强,贺琨.振动式微陀螺正交误差自补偿方法[J].传感技术学报,2012,25(9):1221-1225. 被引量:8
-
3姜劭栋,裘安萍,施芹,苏岩.硅微陀螺仪正交耦合系数的计算及验证[J].光学精密工程,2013,21(1):87-93. 被引量:9
-
4贺琨,崔红娟,侯占强,刘学,肖定邦,吴学忠.微机械振动陀螺模态耦合误差分析与激光修形方法研究[J].传感器与微系统,2013,32(3):21-24. 被引量:8
-
5张霞.振动式微机械陀螺仪的研究现状与展望[J].固体电子学研究与进展,2013,33(5):447-453. 被引量:2
-
6赵阳,裘安萍,施芹,夏国明,赵健.硅微陀螺仪零偏稳定性的优化[J].光学精密工程,2014,22(9):2381-2388. 被引量:7
-
7王宇,罗忠,李昌,刘健.薄壁圆柱壳的高阶模态振动特性研究[J].动力学与控制学报,2016,14(2):131-137. 被引量:6
-
8陈尚,张世军,穆星科,陈永强.MEMS陀螺技术国内外发展现状简述[J].传感器世界,2016,22(4):19-23. 被引量:12
-
9刘危,解旭辉,李圣怡.微机械惯性传感器的技术现状及展望[J].光学精密工程,2003,11(5):425-431. 被引量:35
引证文献3
-
1郝淑英,齐成坤,罗昔柳,冯晶晶,高芬,张琪昌.微机械陀螺的刻蚀误差特性分析[J].动力学与控制学报,2017,15(2):157-162. 被引量:4
-
2郝淑英,张辰卿,齐成坤,李会杰,张昆鹏,陈炜.驱动微梁形状对微陀螺仪耦合误差的影响分析[J].传感技术学报,2018,31(1):48-53. 被引量:1
-
3郝淑英,李会杰,齐成坤,张辰卿,陈炜,冯晶晶.驱动微梁梁宽误差对微陀螺性能的影响[J].传感器与微系统,2018,37(8):12-15.
二级引证文献5
-
1孙浩诚.静电力驱动在现代传感技术中的应用[J].通讯世界,2018,0(8):228-230.
-
2王世援.提高MEMS用超薄硅片厚度测量质量的研究[J].电子工业专用设备,2019,48(1):41-44.
-
3张利娟,李欣业,张华彪.角度偏移对微机械陀螺系统响应特性的影响[J].振动与冲击,2019,38(7):65-70. 被引量:1
-
4刘成,冯晶晶,郝淑英,张伟.静电驱动微梁谐振器的厚度形态误差特性分析[J].动力学与控制学报,2020,18(2):35-41.
-
5张昆鹏,郝淑英,宋宇昊,张琪昌,冯晶晶.梳齿倾斜角对多自由度微陀螺动态性能的影响[J].振动与冲击,2022,41(5):221-227.
-
1孙玲玲,付虹,赵灿,王威,张薇,方正明.基于LabVIEW的硅微陀螺仪焊速测量系统[J].长春工业大学学报,2013,34(3):319-322.
-
2刘天亮,高胜利.硅微陀螺仪随机漂移建模及滤波[J].电子测量技术,2010,33(9):33-34. 被引量:5
-
3张洁,周百令.一种新颖的z轴硅微陀螺仪信号检测方案研究[J].现代电子技术,2007,30(18):10-12.
-
4高生强,杨珺,熊广芝,任华锋,吉楠.基于正交多项式不变矩的图像描述[J].电光与控制,2009,16(2):48-50.
-
5徐韩,曾超,黄清华.基于神经网络的多尺度多参数硅微陀螺仪研究(英文)[J].传感技术学报,2016,29(8):1160-1164.
-
6夏敦柱,王寿荣,周百令.硅微陀螺仪零偏温度性能补控方法设计[J].东南大学学报(自然科学版),2012,42(2):290-294. 被引量:12
-
7刘宇,聂闻.一种计算机视频监控系统的精确标定算法[J].计算机应用研究,2011,28(12):4748-4751.
-
8樊波.硅微陀螺仪随机振动强度分析[J].电子技术与软件工程,2016(13):248-249.
-
9方庆琯,黄建中.基于环境地图的AGV路径规划免疫网络算法研究[J].起重运输机械,2010(3):42-45. 被引量:3
-
10张正平.I/Q双通道正交误差测量方法的研究[J].贵州大学学报(自然科学版),1999,16(4):283-287. 被引量:1