摘要
本实用新型提供一种综合利用MOCVD设备尾气的装置,MOCVD的尾气通过管道进入低压缓冲罐,低压缓冲罐通过压缩机连接于高压缓冲罐,高压缓冲罐管道连接于预冷交换器上,预冷交换器下端管道连接有低温冷凝器,低温冷凝器下方管道连接有气液分离器,气液分离器的下端通过液氨泵与液氨储槽连接、顶端管道连接于分子筛吸附柱上,分子筛吸附柱上端连接在变压吸附柱上,变压吸附柱管道连接于氢气储罐。本实用新型结构简单,能够对MOCVD尾气进行有效分离,液氨和氢气被回收,可直接应用到其他行业,氮气可以直接排放,综合利用率高,且没有安全和环保的问题。
出处
《低温与特气》
CAS
2014年第6期22-22,共1页
Low Temperature and Specialty Gases
