摘要
本发明提供一种能够在各种情况下抓握工件的机器人机械手。
在半导体生产过程中，需要机器人机械手传送硅片，本发明采用真空吸附的方法，机器人机械手6是吸附和保持工件的机械手，在机械手6的一个主面上制作多个第1吸气孔7以及和7连通的第1真空通路8，在机械手6的另外一个主面也制作有同样的结构。采取这样的机构，即使其中一个真空通路出现故障，另外一个通路也能将工件吸附保持住，防止工件从机械手上掉下来。
出处
《机器人技术与应用》
2014年第4期47-48,共2页
Robot Technique and Application
