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宁波材料所金属掺杂DLC复合薄膜材料体系研究取得系列进展

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摘要 类金刚石薄膜材料(diamond-like carbon,简称DLC)作为一类非晶碳膜材料的统称,主要由sp3键(金刚石相)和sp2键(石墨相)的三维交叉网络混合而成,依制备方法不同可含有一定量氢,具有高硬度、低摩擦系数、高红外透光性、良好化学惰性和生物相容性等诸多优异性能,在海洋、航空航天、生物医用、微机电、汽车等领域具有广阔应用前景。然而,目前DLC研究领域中还存在高残余压应力、摩擦学不稳定和低成本大面积制备困难等问题,这使其应用受到严重限制。
出处 《中国粉体工业》 2014年第3期38-38,共1页 China Powder Industry
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