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掺Sb衬底外延片厚度测量及误差分析

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摘要通过对不同测试机台进行对比,找出了各个机台厚度测量的最优测试方案;通过对红外膜测量厚度波峰的研究,缩小了掺Sb衬底外延层厚度测量偏差。对生长工艺进行改善,增大了红外干涉峰的强度,提高了红外膜厚度测试效率!

作者常素珍肖凌封慧峰

机构地区河北普兴电子

出处《科技风》 2014年第13期54-55,共2页

关键词掺Sb衬底厚度误差

分类号 TN304.23 [电子电信—物理电子学]

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2014年第13期

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