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溅射MoS_2膜对轴承形状及尺寸精度的影响

Effection of Spattering MoS2 Film on Form Accuracy and Dimension Precision of Bearing

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摘要溅射法形成固体润滑膜是一种先进的加工工艺 ,MoS2 是真空润滑性能最好的固体润滑剂 ,溅射MoS2 膜的润滑性与基体材料及工艺参数有关。对不同基体材料、不同尺寸的轴承采用不同的溅射参数溅射MoS2 膜 ,分析了镀膜对轴承尺寸及形状精度的影响。

作者李娟李建华田林涛

机构地区洛阳轴承研究所国家经贸委军品中心

出处《轴承》北大核心 2002年第7期30-32,共3页 Bearing

关键词尺寸精度溅射固体润滑剂固体膜润滑形位偏差

分类号 TH133.3 [机械工程—机械制造及自动化] TH117.2

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轴承

2002年第7期

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