摘要
现在人们研究的非平衡等离子体大多是在低气压(1.33 Pa ~1.33 kPa)、低质量流量条件下, 由射频(13.5 MHz)、微波(2450 MHz) 以及交、直流高电压激发的辉光放电产生的, 作为一种直接向反应体系施加能量的方法, 已在等离子体化学合成与分解、溅射制膜、气相淀积、聚合与引发聚合、材料表面改性、沉积刻蚀和低温灰化等方面应用, 取得了引人瞩目的应用效果. Maezono等人[1]在压力为0.08 kPa, Ar作为活化剂的条件下, 研究利用直流火焰状电晕放电, 将CO2浓度由10%降至8%. Zhang等人[2]应用辉光放电方法, 在850℃以及Ni/?-Al2O3催化剂作用下, 合成CH4的转化率达到98.2%.
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期321-322,共2页
Chinese Science Bulletin
基金
本工作为国家自然科学基金重点项目(批准号:60031001)
国家自然科学基金资助项目(批准号:69871002).
