摘要
综述了微角度的光学测量方法。就干涉法、自准直法和全内反射差动探测法等测量方法的原理及特点进行了讨论。给出了各方法的典型实验装置 ,讨论了各装置的特点及应用局限性 。
The principles of the optical methods for measuring small angles are discussed.These methods include interferometry,autocollimators,and differential detection based on the internal reflection effect.We discuss the typical measurement devices,their applications,limitations and the new development of these methods.
出处
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期416-419,共4页
Journal of Optoelectronics·Laser
基金
国家自然科学基金资助项目 (699780 2 4)
国家重点基础研究发展规划资助项目 (G19990 3 3 10 8)
关键词
微角度
光学测量
位置探测光电二极管
莫尔条纹
Small angles
Interferometry
Rotation angles
Total internal reflection
Position sensing photodiode
Moire fringe
