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HL—2A真空室预装抽气、检漏试验

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摘要 HL-2A真空室预装抽气系统由4套前级汇总式分子泵三级抽气机组组成,包括4套3500LS^-1分子泵、2套600LS^-1罗茨增压泵和2套70LS^-1机械泵,对环有效抽速为6.4m^3s^-1(H2)。用氦质谱检漏仪、四极场质谱计与氦质谱检漏仪相结合的方法(即双质谱法)分别进行零部件和真空室总体检漏,真空室总漏气率≤1.2×10^-5Pam^3s^-1。采用有效除气措施后,HL-2A真空室预装本底压强为1.1×10^-4Pa。
出处 《四川真空》 2001年第2期28-35,共8页
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