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位敏探测器表面反射损耗的优化 被引量:2

Optimization of Reflection Loss on the Surface of Position-sensitive Detector
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摘要 本文通过计算 Si O2 单层以及 Si O2 和 Si3N4组成的双层减反膜对不同波长的反射率 ,给出了位敏探测器表面反射损耗的优化。 Through computing the reflectance of antireflective coatings combined with single SiO 2 or SiO 2 and Si 3N 4 on the surface of position sensitive detector for different wavelength, the optimum data can be obtained.
机构地区 浙江大学物理系
出处 《光电子技术》 CAS 2001年第3期194-196,共3页 Optoelectronic Technology
关键词 反射损耗 导纳特征矩阵法 位置传感器 位敏探测器 PSD, reflection loss, characteristic admittance matrix
  • 相关文献

参考文献8

二级参考文献6

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引证文献2

二级引证文献3

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