摘要
总结了硅变容管的发展趋势 ,离子注入化、电容配对中测化、集成化、低压化、超小型化。
Development trend of Si varactor is summarized:ion implantation,to match capacitance during testing,integration,low voltage,super miniaturization,SMD and wide application.
出处
《微电子技术》
2001年第3期18-22,共5页
Microelectronic Technology
