ITO透明导电薄膜XPS深度剖面分析被引量：2

ANALYSIS ON DEPTH PROFILES OF ITO TRANSPARENT CONDUCTIVE FILMS BY XPS

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摘要介绍了镀制 SiO2的 ITO透明导电薄膜的性能特点，描述了用 X射线光电谱仪对典型产品深度剖面的分析过程，给出了实验结果。 The properties of ITO transparent conductive films coated with SiO2 are introduced.The process of analysis on the depth profiles of the samples by XPS is described and the results are given.

作者范垂祯谢舒平杨得全

机构地区豪威科技集团有限公司兰州物理研究所

出处《真空与低温》 2001年第1期18-20,共3页 Vacuum and Cryogenics

关键词 ITO透明导电薄膜 X射线光谱仪深度剖面分析二氧化硅玻璃镀膜 ITO transparent conductive films XPS analysis

分类号 TQ171.68 [化学工程—玻璃工业] O484 [化学工程—硅酸盐工业]

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