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丝网印刷厚膜集成电路工艺

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摘要厚膜是指10～25微米的膜层厚度,利用丝网印刷的方法形成导体及厚膜电阻、电容。

作者鲍志素

机构地区安徽省合肥汽车制造厂一分厂

出处《今日科技》 1996年第12期10-10,共1页 Science & Technology Today

关键词丝网印刷集成电路厚膜集成电路

分类号 TN452 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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今日科技

1996年第12期

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