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使用在线检测仪检测超薄电子玻璃的产品质量被引量：1

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摘要超薄电子玻璃是指厚度在0．1～1．1mm范围内的电子玻璃，是可应用于电子、微电子、光电子领域的一类高技术产品，主要用于制作集成电路以及具有光电、热电、声光、磁光等功能元器件的玻璃材料。基板玻璃是目前在微电子、光电子和新能源等高新技术中应用最广、发展最快的特种玻璃之一。

作者丁锐吴惊涛

出处《广西质量监督导报》 2014年第5期42-43,共2页

关键词电子玻璃在线检测仪产品质量超薄光电子领域高技术产品集成电路玻璃材料

分类号 TN386 [电子电信—物理电子学]

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广西质量监督导报

2014年第5期

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