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基体表面粗糙度对磁控溅射TiN涂层界面结合力的影响 被引量:14

Effect of Surface Roughness on Boundary Adhesion of Magnetic Sputtered TiN Coating
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摘要 利用球与平面的赫兹接触应力分布的经验修正公式[1] ,对磁控溅处理前的基体表面粗糙度对沉积层和基体的界面结合力进行了研究 ,并和其他涂层界面结合力的测量方法进行了比较。结果表明 :基体表面粗糙度对界面结合力有很大影响 ,表面粗糙度的改善有利于 Ti N层 /基体的界面结合力的提高 ,同时改善了 Ti The boundary adhesion strength of magnetic sputtered TiN coatings on GCr15 steel substrates with different surface roughness was studied employing the revised Hertz contact stress formulas based on ball/plane [1] The measured and calculated data were compared with those got by other methods The results showed that the surface roughness of substrate influenced greatly the adhesion of TiN coating deposited by magnetic sputtering deposition process Improving the surface roughness of substrate is beneficial to increasing the adhesion of TiN coating, and then to improving its tribological property This study is important in advising the practical application of TiN coating
出处 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期35-37,共3页 Materials For Mechanical Engineering
基金 机械工业技术发展基金资助项目!(95 JA0 5 0 2 )
关键词 表面粗糙度 界面结合力 赫兹接触 氮化钛涂层 PVD 磁控溅射 suface roughness boundary adhesion TiN hertzian contact
  • 相关文献

参考文献8

  • 1王力衡等著..薄膜技术[M].北京:清华大学出版社,1991:206.
  • 2贾俊辉.表面膜附着力的压痕法测定[J].机械工程材料,1988,12(6):31-33. 被引量:5
  • 3韦习成.超硬薄膜表面粗糙度对摩擦学性能的影响.新型材料及表面技术,94秋季中国材料研讨会Ⅲ[M].北京:化学工业出版社,1995.431-436. 被引量:1
  • 4韦习成.磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试研究.99摩擦学表面工程学术会议论文集[M].,1999.103-107. 被引量:1
  • 5韦习成,99摩擦学表面工程学术会议论文集,1999年,103页 被引量:1
  • 6韦习成,新型材料及表面技术.94秋季中国材料研讨会,1995年,431页 被引量:1
  • 7王力衡,薄膜技术,1991年,131页 被引量:1
  • 8贾俊辉,机械工程材料,1988年,12卷,6期,31页 被引量:1

共引文献4

同被引文献186

引证文献14

二级引证文献63

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