用于GHZ级硅集成电感器的CoZrNb类磁膜的制造及高频性能

Manufacture and It High Frequency Magnetic Property of CoZrNb Magnetic Film for GHZ Si-integrated Inductor

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摘要 1引言现代电子设备的小型化和多功能化的发展趋势，不断要求和推动着电子元器件的微小型化、集成化和模块化技术的创新发展，其中，以减小无源电感元件的尺寸、重量并实现平面化的使命尤为紧迫和重要。

作者薛蕙(编译) 姜劲(校)

出处《磁性元件与电源》 2014年第2期146-148,共3页 Components and Power

关键词集成化高频性能电感器 GHZ 制造磁膜 b类微小型化

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磁性元件与电源

2014年第2期

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