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大口径镀膜机膜厚均匀性分析 被引量:14

FILM UNIFORMITY CALCULATION OF LARGE CALIBER COATING MACHINE
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摘要 以 2 .2 m镀膜机为例分析大口径镀膜机膜厚分布情况 ,考虑旋转球面的情况 ,建立平板型和球面型行星夹具膜厚均匀性的计算模型 ,给出计算结果。 Thickness distribution of film produced by large caliber coating machine is analysed and an example is given.Rotating spherical fixture is considered and the calculating models for flat and spherical planetary fixture are developed.And some results are given here.
出处 《应用光学》 CAS CSCD 2001年第1期33-38,共6页 Journal of Applied Optics
关键词 薄膜 均匀性 计算 镀膜机 film uniformity calculation
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  • 相关文献

参考文献2

  • 1顾培夫编著..薄膜技术[M].杭州:浙江大学出版社,1990:272.
  • 2顾培夫.光学薄膜厚度均匀性的理论计算[J].激光与红外,1985,(1):47-50. 被引量:1

同被引文献72

引证文献14

二级引证文献40

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