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空心阴极弧蒸发装置中的等离子体条件的确定

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作者 拾灵
出处 《等离子体应用技术快报》 2000年第9期24-26,共3页
关键词 空心阴极弧蒸发装置 等离子体
分类号 O53 [理学—等离子体物理]
  • 相关文献
等离子体应用技术快报
2000年 第9期

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