流化床法制备粒状多晶硅研究进展被引量：4

Research progress in fluidized process for preparation of granular polysilicon

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摘要综述流化床法制备粒状多晶硅的技术概况及生产技术问题的研究情况。 The technological status of fluidized process for preparation of granular polysilicon and studies on technological issues in production are summarized.

作者陈其国高建

机构地区江苏中能硅业科技发展有限公司天津工业大学

出处《氯碱工业》 CAS 2014年第1期31-34,38,共5页 Chlor-Alkali Industry

关键词多晶硅流化床法粒状硅生产技术 polysilicon fluidized process granular silicon production technology

分类号 TQ127.2 [化学工程—无机化工]

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