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电子束曝光制作毫微米线条

Nanometer Fabrication with Electron-Beam Lithography
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作者 任月英 葛璜
出处 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1991年第12期8-11,共4页 Chinese High Technology Letters
关键词 毫微米加工 电子束曝光 电子流 nanometer fabrication e-beam lithography
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