剑桥S250扫描电镜控制电路部分故障分析与排除被引量：1

Faults study and Solution of Cambridge S250 SEM Control Unit

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摘要本文主要简单介绍剑桥S250扫描电镜的控制部分的结构,分析检修方法和常见故障。 This paper shows the basic structure and general trouble shooting of control unit of Cambridge S250 SEM system.

作者何建平金建灵崔新发杨启敏

机构地区北京科技大学新金属材料国家重点实验室

出处《现代仪器》 2000年第6期42-43,共2页 Modern Instruments

关键词扫描发生器透镜电流扫描电镜故障分析 scan generator lens current Line scan frame scan blank

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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