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物理冶金法单晶硅片双面磷吸杂实验研究

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摘要 对物理冶金法提纯的单晶硅太阳能电池的生产工艺中,在磷扩散制备PN结时进行了双面磷吸杂实验研究。结果表明,与常规的磷吸杂扩散相比,双面磷吸杂效果明显,吸杂后硅片的少子寿命及其制成电池片的转换效率均有提高。
出处 《科技创新导报》 2013年第20期48-49,共2页 Science and Technology Innovation Herald
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