摘要
成品率高低是批量生产能否进行的关键。采用全自动在片直流测试 ,对参数进行统计分析 ,能判断成品率是否正常 ,并帮助找出影响成品率的原因。本文介绍了行之有效的测试统计和分析技术。
High yield is a very important prerequisite in batch process. Using automatic on wafer DC parameter test technique and analysing statistical results of measured parameters, the process reason of low yield can be found.
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2000年第4期444-447,共4页
Journal of Functional Materials and Devices
