摘要
提出一种可以通过单次曝光实现PIE(ptychographic imaging engine)成像的方法,该方法用正交光栅将入射细光束衍射为传播方向不同的子光束簇以对样品进行照明,并用CCD同时记录各个子光束所形成的衍射光斑阵列.该方法很好地克服了现有PIE方法的成像质量易受机械扫描误差影响和数据采集时间过长两个缺点,具有很好的实用价值.
A single shot PIE （ptychographic imaging engine） imaging method is proposed to overcome the disadvantages of common PIE algorithm. In this proposed method, a multiple beam illumination obtained with a cross grating is used to illuminate the object studied, and a CCD camera is adopted to record the diffraction pattern array of all the illumination beams simultaneously. The phase and the modulus images of the object can be faithfully reconstructed with stand PIE computation algorithm from the recorded data.
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第18期192-197,共6页
Acta Physica Sinica
基金
中国科学院百人计划基金(批准号:1104331-JRO)资助的课题~~
关键词
相干衍射成像
相位恢复
显微成像
迭代算法
coherent diffraction image, phase retrieval, microscopy, iterative engine
