摘要
首次采用原子层沉积法制备TiO2/Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来制备了高反射率的背反射镜。制备的多层布拉格反射镜加Al镜和多层布拉格反射镜加Ag镜有很好的平整度和厚度的精确性,并且反射率高于96%。此外,TiO2/Al2O3布拉格反射镜和Al与蓝宝石衬底都有良好的粘合性,这样可以节省制备步骤并且可以得到高质量的背反射镜。利用原子层沉积技术和TiO2/Al2O3布拉格反射镜,我们得到了高反射率,角度依赖性小,更加稳定以及均一性更好的背反射镜,可以满足高亮度LED的需求。
High reflectivity backside reflectors combining TiO2/A1203 distributed Bragg reflector （DBR）by atomic layer deposition （ALD）with metallic mirror have been demonstrated for the first time. Muhi-pair-DBRs/A1 and muhi-pair-DBRs/Ag stacks with excellent uniformity and thickness accuracy have exhibited high reflectivities above 96%. Besides,TiOz/AlzO3 DBR has good adhesion with both sapphire substrate and A1 mirror,we simplified the fabrication process and achieved more stabilized backside reflector. By combining ALD deposition with TiOz/A1203 DBR,high reflectivity, less angle dependency, more stabilized and excellent film uniformity backside reflector is achieved to meet the requirements of high brightness light-emitting diodes（LEDs）.
出处
《电子器件》
CAS
北大核心
2013年第4期431-436,共6页
Chinese Journal of Electron Devices
基金
东南大学科研启动费(4006001034)
关键词
背反射镜
布拉格反射镜
金属反射镜
原子层沉积
backside reflector
distributed Bragg reflector（DBR）
metallic mirror
atomic layer deposition（ALD）
