摘要
采用冷压-烧结法制备氧化锌铝陶瓷靶材(ZnO:Al,简称AZO靶材)。用正交实验法设计实验,探讨氧化铝质量分数、压制靶材的压力、烧结温度和烧结时间对靶材致密度的影响,确定最佳制备工艺参数。研究结果表明最佳制备工艺参数是:氧化铝质量分数为4%,压制靶材的压力为11 MPa,烧结温度为1300℃,烧结时间为2 h。在此条件下,靶材的相对密度可达98%以上,即可实现AZO靶材的超高致密度化。
In this article, AZO target was prepared by cool pressure-sintering method. The experiment was designed with orthogonal technique. The mass fraction of alumina, pressure, sinter temperature and sintering time on the target relative density were investigated to determine the best preparation technology parameters. The study have shown that the optimal preparation parameters are： the mass fraction of alumina 4 %, the pressure ll MPa, the sintering temperature 1300 ℃, sintering time 2 h, and under this conditions, the relative density of AZO target prepared is the best and as high as 98 %.
出处
《中国陶瓷》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期22-25,共4页
China Ceramics
基金
广东省科技计划项目(2011B010400042)
广东省产学研结合项目(2012B091100200)
国家自然科学基金项目(21271080)
广东省自然科学基金项目(S2012010010311)
关键词
AZO靶材
相对致密度
冷压-烧结法
氧化锌铝
AZO target Relative density Cool pressure-sintering method Zinc aluminum oxides
