力敏元件的静电封接原理与工艺被引量：1

The Principle and Technology of Static Electricity Bonding for Mechanical Sensors

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摘要静电与传感器及敏感元件,虽表示完全不同的概念,却有着某种内在联系。在电子仪表工业中,静电的影响和危害都是很大的。它是场效应管、集成电路、其它有源器件、磁敏元件、软盘与计算机及部分传感器的大敌。但根据静电产生。

作者王秉时

机构地区浙江海盐胶木电器厂

出处《传感器技术》 CSCD 1991年第3期38-40,共3页 Journal of Transducer Technology

关键词力敏元件静电封接压力传感器

参考文献2

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传感器技术

1991年第3期

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