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硅芯加工刀具冷却方式的改进

The Improvement of the Cooling Method for Silicon Wafer Cutting Tool
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摘要 多晶硅材料是光伏行业中一种重要的原材料,随着光伏行业的兴起,金刚石刀具在硅棒切割中已得到广泛的应用,试验介绍了加工硅棒中的刀具冷却方式不同造成刀具的损坏以及产品断裂的原因,通过优化冷却方式及进行刀具的改进,进而解决刀具在加工过程中的损坏及产品断裂问题。 Polysilicon materials is an important raw material in photovohaic industry, diamond tools are widely applied in silicon rod cutting along with the rising of photovohaic industry; The cause of the damage of silicon processing tool and the reasons of product frac- ture resulted from different cooling methods is introduced in this paper, and the problems are solved through optimization of the cooling meth- ods and improvement of cutting tools.
出处 《云南冶金》 2013年第1期80-82,共3页 Yunnan Metallurgy
关键词 金刚石 刀具 冷却 silicon diamond tools cooting
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