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基于激光干涉法的MEMS高g值加速度计准静态校准 被引量:1

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摘要 介绍了采用Hopkinson杆冲击装置产生激励加速度脉冲,利用激光多普勒干涉仪对激励信号进行测量,实现对MEMS高g值加速度计进行准静态校准的原理。给出了传感器灵敏度系数的两种标定公式,并对校准系统中影响激励加速度脉冲幅值测量误差的主要因素进行了分析。通过对一种压阻式高g值加速度计的两种灵敏度标定结果和测量不确定度的分析,比较了两种标定公式的优缺点。
出处 《伺服控制》 2012年第8期63-66,共4页 Servo Control
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参考文献14

二级参考文献38

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共引文献51

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引证文献1

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