摘要
本文提出了深缝衍射光通量损耗的一种近似计算方法 ,计算及实测表明 ,这种方法可作为测量深缝宽度的理论根据 ,测量下限为微米。
This paper advances the approximate counting method on loss of luminous flux of deep slit diffraction. Counting and practical measurement show that this method can be used as theory basis to measure the width of deep slit. The result is that the lower limit of measurement is micron.
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2000年第4期185-186,共2页
Applied Laser
基金
原机械工业部科学基金资助项目
