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GaAs MESFET栅极漏电流退化机理分析 被引量:4

Mechanism Analysis of Gate Leakage Current Degradation of GaAs MESFETs
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摘要 高温存储试验后某种GaAs MESFET的栅-漏极正向和反向漏电流增大。为分析失效机理,测定了试验前后栅-漏极低压正向电流随温度的变化,定性估计了试验前后复合-产生中心浓度的变化,确定肖特基势垒接触有源层的复合-产生中心浓度增加是两种漏电流增大的原因,为高温下GaAs MESFET的肖特基势垒接触存在栅金属下沉和扩散提供了证据。 Forward and Reverse Gate-Grain Leakage Current of GaAs MESFETs increase after High Temperature Storage Test (HTST) .In order to study the failure mechanisms an experiment to measure the low-biased forward current of Gate-Grain diode as a function of temperature has been carried out.The change of density of Combination-Generation Centers(C-G C)after HTST has been estimated qualitatively. The increase of the both leakage currents is due to the increase of C-G C in the active layer under the gate An evidence of gate metal sinking and metal-semiconducion after HTST has been obtained.
作者 费庆宇 黄云
出处 《电子产品可靠性与环境试验》 2000年第4期8-11,共4页 Electronic Product Reliability and Environmental Testing
关键词 漏电流 砷化镓 MESFET 栅极 leakage current schottky-barrier contact combination-generation center
  • 相关文献

参考文献1

  • 1[英]罗德里克(E·H·Rhoderick) 著,周章文,齐学参.金属半导体接触[M]科学出版社,1984. 被引量:1

同被引文献30

引证文献4

二级引证文献20

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