期刊文献+

激光双法布里—珀罗干涉纳米测量系统的理论分析 被引量:2

Theoretical Analysis of Nanometre Measurement System with Dual Fabry-Perot Interferometer
下载PDF
导出
摘要 本文设计了一种基于双法布里—珀罗干涉仪、采用计算机实时控制处理、以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统 ,描述了该系统的工作原理 ,详细进行了系统的理论分析。提出了通过测量双法布里—珀罗干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础 ,分析了轻拍式探针的振动模型 ,给出了检测探针振幅变化的新方法及理论依据。 A new nanometre measurement system with dual Fabry Perot Interferometer (DFPI),real time computer control system and tapping stylus is designed,its principle of operation is described,and it is theoretically analyzed in detail.The theoretic basis for nanometre measurement,using the measurement of amplitude difference or equal amplitude time interval of DFPI transmission wave,is proposed.The vibration model of tapping stylus is set up and analyzed,the new method of measuring stylus amplitude is proposed.
出处 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期380-383,共4页 Chinese Journal of Scientific Instrument
基金 国家自然科学基金
关键词 纳米测量 双法布里-珀罗干涉仪 理论分析 Nanometre measurement Dual fabry perot interferometer Theoretical analysis
  • 引文网络
  • 相关文献

参考文献3

二级参考文献5

  • 1朱若谷,1992年 被引量:1
  • 2朱若谷,激光杂志,1985年,6卷,2期,91页 被引量:1
  • 3李天初,Opt Lett,1995年,20卷,785页 被引量:1
  • 4Wang D,IEEE Photonics Technol Lett,1994年,6期,855页 被引量:1
  • 5Fogg B,iber Optic Sensor-based Smart Materials and Structures,1992年,51页 被引量:1

共引文献8

同被引文献2

引证文献2

二级引证文献2

;
使用帮助 返回顶部