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一个电子工厂的气体供应系统
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摘要
本文结合具体工程设计实例,对一个电子工厂的压缩空气系统,常用气体系统、特种气体系统作简要介绍。
作者
安志星
安真
机构地区
中国电子工程设计院
出处
《工厂动力》
2000年第2期36-39,45,共5页
关键词
气体供应系统
电子工厂
TFT-LCD
分类号
TN873.93 [电子电信—信息与通信工程]
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