摘要
产品名称：MagellanTM HR SEM 生产单位：FEI COMPANY 型号：MagellanTM XHR 400 SEM 产品特点：MagellanTM XHR 400 SEM是世界上第一款在1kv～30kv范围内都具有小于lnm分辨率的扫描电镜。它首创了所谓的超高分辨率扫描电镜（XHR SEM：Extreme high resolution SEM）。它在超低电压下所具有的超高分辨率这一卓越性能使它能提供其它技术所不能提供的特定的表面信息。
出处
《中国材料科技与设备》
2011年第6期90-98,共9页
Chinese Materials Science Technology & Equipment
