摘要
微致动技术是微型机电系统(MEMS)设计制造的重要技术基础。本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用硅微细加工工艺制造出多种微型热致动器,并进行了理论分析和实验测试。
Microactuation technology is important bases of the design and fabrication for MEMS.In this paper, researches on thermal actuation are described.Some kinds of thermal microactuators are developed by silicon micromanufacturing process.Theoretical analyses for microactuators are proposed and the typical performance of microactuators is tested.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第1期14-18,共5页
Semiconductor Technology
基金
国家自然科学重点基金资助项目! ( 5 92 3 5 111)
关键词
微型机械
微致动器
热致动器
硅微细加工
Micromachine Microactuator Thermal actuation Silicon micromanufacturing process
