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金锡共晶烧结工艺及重熔孔隙率变化研究 被引量:2

Research on Au/Sn Eutectic Sintering Technology of Die Attachment and Remelting Air-tightness
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摘要 文章论述了金锡共晶烧结工艺在功率器件焊接中的应用,分析了金锡共晶烧结温度、时间和压力对芯片粘接质量的影响。同时分析了金锡焊料重熔后粘接层孔隙的变化,试验表明金锡共晶烧结时控制好烧结工艺参数,可以保证多次重熔对粘接层孔隙率的影响,粘接质量能满足相关要求。 In this paper, Au/Sn eutectic sintering technology on the power device packaging application was discussed. The influence of temperature, time and force on Au/Sn sintering were tested in die attach experiments. After Au/Sn sintering to die, Au/Sn sintering to sealing has also been analyzed in the packaging. The result suggests that controlling the sintering parameters will improve the quality of the adhesive layer air- tightness after re-melting. Air tightness and yield rate ofAu/Sn eutectic could be controlled and the packaging reliability will satisfy the need of packaging technology.
出处 《电子与封装》 2011年第12期4-7,共4页 Electronics & Packaging
关键词 金锡共晶 芯片烧结 空隙率 密封 可靠性 Au-Sn eutectic solder die sintering air-tightness hermetic reliability
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献7

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共引文献83

同被引文献5

引证文献2

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