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CMOS光刻市场发展及应用

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摘要 随着电子产业的技术进步和发展,光刻技术及其应用已经远远超出了传统意义上的范畴,CMOS光刻市场几乎包括和覆盖了所有微细图形的传递、微细图形的加工和微细图形的形成过程。因此,未来光刻技术的发展也是多元化的,应用领域的不同会有所不同。
作者 罗玉
出处 《电脑与电信》 2011年第12期4-6,共3页 Computer & Telecommunication
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