超短波干涉仪

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摘要可见-紫外激光所产生的干涉条纹范围宽达数百nm,要准确测量超微小位移量是困难的。而均一的单晶硅片尺寸稳定,可以将硅的晶格常数作为长度基准。

作者周菊芳

出处《航空精密制造技术》 1993年第6期12-12,共1页 Aviation Precision Manufacturing Technology

关键词干涉仪紫外激光单晶硅片干涉条纹晶格常数布喇格条件衍射光平行排列周期调制超高分辨率

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航空精密制造技术

1993年第6期

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