摘要
报导了半导体薄膜CO2气体敏感膜的制备，敏感膜的结构特性、温度特性、灵敏度及响应特性和稳定度。
This paper reports the formation of the semiconductor CO2 thin-film and the structure,sensitivity,stability,temperature characteristic and response property of this sensing film.
出处
《杭州电子科技大学学报（自然科学版）》
1997年第2期33-38,共6页
Journal of Hangzhou Dianzi University：Natural Sciences
关键词
薄膜
气敏
二氧化碳
Thin-film, Gas-sensing, Carbon dioxide
