一种微推进系统点火器的制作

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摘要通过半导体桥点火阵列的设计与制作，研究了半导体桥作为微推进系统点火器的可行性。采用多晶硅材料，研制出了点火电阻1．2±0．2Ω、点火电压9．5V的3×4阵列点火器，为低电压、低成本、高可靠性微推进豕统点火器的制备提供了一条有效的技术途径。

作者刘善喜

机构地区中国兵器工业第

出处《集成电路通讯》 2011年第3期9-13,共5页

关键词微推进系统点火器多晶硅

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集成电路通讯

2011年第3期

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