“上海先进”国内首条MEMS工艺平台实现量产

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摘要 “上海先进”（ASMC／上海先进半导体制造股份有限公司）在MEMS（微机电系统）代工领域取得重大进展，在打造国内MEMS工艺生产平台的同时，首条MEMS工艺生产线已进入量产。“上海先进”MEMS生产线可以代工的器件包括：三轴陀螺仪、加速度计、生物MEMS芯片、光学MEMS、RFMEMS、微流体开关、压力传感器等，可被广泛应用于消费电子、医疗电子以及汽车电子等领域。

出处《现代显示》 2011年第10期55-55,共1页 Advanced Display

关键词 MEMS工艺生产平台上海国内消费电子微机电系统半导体制造压力传感器

分类号 TH-39 [机械工程]

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