摘要
为了研究多种作用因素在高加速、大行程条件下对超精密微动台静态精度的影响,利用刚体运动学,通过综合工件台中的线性位置误差与角位置误差,建立了超精密气浮工件台的静态误差解析模型。利用该模型,结合有限元等方法定量分析了超精密气浮工件台中加速度、制造误差、结构柔性及气浮轴承刚度等普遍存在的误差因素同时作用时对系统最终精度的影响。通过分析,证明在高加速、大行程条件下,气浮轴承的角刚度不足是造成静态误差的主要因素。
The static error of an ultra-precision stage is caused by various factors.This paper presents an error model for an ultra precision stage using rigid body kinematics for high accelerations and a large travel range.The parametric error model for the stage＇s errors is in terms of the linear positioning error,roll,pitch and yaw.The model describes the influence of the acceleration,manufacturing errors,structure flexibility and stiffness of the aerostatic bearing.The results show that insufficient angle stiffness of the aerostatic bearing is the main factor for the static error for high acceleration and large travel motion.
出处
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期857-861,共5页
Journal of Tsinghua University(Science and Technology)
基金
国家“八六三”高技术项目(2009AA04Z148)
国家“九七三”重点基础研究项目(2009CB724205)
