新颖的高精度致动器

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摘要近期,随着光电子、海量存储、半导体以及生物医学的快速发展,人们对具有高分辨率、长期稳定性的运动控制系统的要求越来越高。过去,应用在光学领域的运动控制系统主要依靠步进电机、直流伺服电机和铁电致动器(主要是指压电晶体或是电致伸缩体)。这些装置由于具有高的重复精度和高的自动化程度,因而主要应用在装配生产线及机械加工过程中。

作者齐涤非

出处《光机电信息》 1999年第12期28-32,共5页 OME Information

关键词致动器运动控制系统压电材料

分类号 TP215 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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光机电信息

1999年第12期

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