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硅中铂族金属掺杂剂的萃取分离及测定

SEPARATION AND DETERMINATION OF PLATINUM METALS DOPANTS IN SILICON BY SOLVENT EXTRAC TION AND GFAAS
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摘要 本工作采用溶剂萃取分离法及石墨炉原子吸收测定法,建立了分离Pd-Pt-Ir及Pd-Rh-Ir的方法,分析测定了掺Pd-Pt、Pd-Pt-Ir及Pd-Rh-Ir的硅样品中铂族元素在硅中的纵向分布。仪器与试剂PE5000原子吸收光谱仪,HGA-500高温石墨炉;PE热解石墨管;PRS-10打印机;PE型微量自动电子天平。 This article has systematically investigated extraction of platinum-metals with H_2Dz-CCl_4 and DPTU-CHCl_3-CH_3COCH_3 and established methods of separating mixture solution of Pd-Pt-Ir or Pd-Rh-Ir in HCl media.The concentrations of Pd, Pt and Rh in organic phase and Ir in SnCl_2 have been determined by a PerkinElmer model 5000 atomic absorption spectrometer equipped with a HGA-500. The profile distributions of platimum-metals in silicon doped with Pd-Pt, Pd-Rh-Ir or Pd-Pt-Ir have been determined.
出处 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1989年第3期77-78,80,共3页 Spectroscopy and Spectral Analysis
  • 相关文献

参考文献2

  • 1崔仙航,半导体学报,1988年,9卷,129页 被引量:1
  • 2文希孟,核化学与放射化学,1985年,7卷,90页 被引量:1

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