摘要
简述了用扫描热显微技术进行高空间分辨率热测试的技术特点和研究现状，介绍了实际测试的情况，初步分析了扫描热探针和样品表面间的传热机理，提出了进一步研究的方向。
This paper describes the scanning thermal microscopy(SThM) and its applications.A few experiments have been implemented.The mechanism of heat transfer between the thermal tip of SThM and the surface of the sample is analyzed and the topics of further research are suggested.
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
1999年第4期266-273,共8页
Acta Metrologica Sinica
基金
国家自然科学基金
关键词
扫描热显微技术
高空间分辨率
热测试技术
Scanning thermal microscopy (SThM)
Thermal tip
Temperature
Thermal conductivity
